產品名稱：四氟化碳

其他名稱：四氟甲烷

分  子 式：CF4

產品純度：99.999%

包裝說明：40L鋼瓶

產品說明：

四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體，揮發性較高，是最穩定的有機化合物之一，不易溶于水。

在900℃時，不與銅、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%（重量比），

然而與可燃性氣體燃燒時，會分解產生有毒氟化物。

四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體，

可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。

對于硅和二氧化硅體系，采用CF4-H2反應離子刻蝕時，通過調節兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。

在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

由于化學穩定性極強，CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業等。

注意事項：

四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。